سنتز نانوساختارهاي يك بعدي اكسيدروي براي ساخت فوتوديود

كارشناسي ارشد

در اين پژوهش ابتدا روش‌هاي سنتز و رشد نانوساختارهاي يك بعدي اكسيدروي از قبيل نانوميله‌ها مورد بحث و بررسي قرار گرفت. با بررسي‌هاي انجام‌شده پيرامون فرايندهاي سنتز و رشد نانوساختارهاي يك بعدي، روش هيدروترمال بهترين گزينه براي رشد نانوميله‌هاي اكسيدروي انتخاب گرديد. به منظور رشد منظم نانوميله‌هاي اكسيدروي، ابتدا لايه‌ي سيد اكسيدروي به روش سل-ژل سنتز شده و به روش لايه-نشاني چرخشي روي زيرلايه‌ي سيليكوني لايه‌نشاني شد. سپس ويفر سيليكون پوشش داده شده با لايه‌ي اكسيدروي را به دستگاه اتوكلاو تفلون اندود انتقال مي‌دهيم، تحت دما و زمان مشخص نانوميله‌هاي منظم اكسيدروي رشد يافته‌اند. به منظور تأييد بر رشد نانوساختارهاي يك بعدي اكسيدروي به صورت منظم و عمود بر زيرلايه و با ساختار كريستالي هگزاگونال، آناليزهاي XRD و SEM و براي بررسي خواص اپتيكي نانوميله‌هاي اكسيدروي، آناليزهاي FTIR و UV-Vis انجام شد. همچنين براي بررسي خواص الكتريكي نانوميله‌هاي اكسيدروي، مشخصه‌يابي الكتريكي جريان-ولتاژ انجام شد. براي اين منظور از روش ليتوگرافي نوري براي برقراري اتصالات الكتريكي استفاده شد. همانطور كه انتظار مي‌رفت نانوميله‌هاي رشد يافته‌ي اكسيدروي از پاسخ‌دهي و حساسيت بالايي به نسبت لايه‌ي نازك اكسيدروي برخوردار مي¬باشند. همچنين نانوميله‌هاي اكسيدروي رشد يافته به روش هيدروترمال در اين پژوهش، داراي پاسخ‌دهي مطلوب‌تري نسبت به نانوميله¬هاي مشابه رشد يافته به روش¬هاي فيزيكي هست.

188832

دانشگاه علم و صنعت ايران

فيزيك اتمي و مولكولي

دكتر بيژن غفاري