تهيه لايه هاي نازك اكسيد روي به روش كندوپاش و بررسي نقش ولتاژ باياس بر روي ويژگي هاي آن ها به منظور كاربرد در سلول هاي خورشيدي

كارشناسي ارشد

در اين پژوهش لايه¬هاي اكسيد روي به روش كندوپاش مغناطيسي (sputtering) با سه ولتاژ باياس متفاوت، 0، 100، و 200 ولت بر روي زيرلايه شيشه لايه¬نشاني شدند و پس از آن، در دماي 400 درجه سانتي¬گراد به مدت 60 دقيقه مورد بازپخت قرار گرفتند. مورفولوژي سطح، خواص الكتريكي و اپتيكي لايه¬ها با ولتاژهاي مختلف، پيش و پس از بازپخت، مورد مقايسه و بررسي قرار گرفتند. الگوي پراش اشعه ايكس (XRD)، جهت¬گيري كريستالي اكسيد روي در راستاي (002) را نشان مي¬دهد. اندازه¬گيري مقاومت الكتريكي نمونه¬ها توسط دستگاه پروپ چهار نقطه¬اي (4-point) انجام شد. ميزان عبور نور توسط لايه¬ها در ناحيه نور مرئي و همچنين گاف انرژي اپتيكي لايه¬ها به كمك طيف سنجي فرابنفش- مرئي (UV-Vis) اندازه¬گيري شد. مورفولوژي سطح و ضخامت لايه¬ها نيز توسط دستگاه ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM) مورد بررسي قرار گرفت. طبق بررسي¬ها مشخص شد كه با افزايش ولتاژ باياس تا 100 ولت، شاهد افزايش اندازه دانه¬ها و كاهش مقاومت الكتريكي هستيم. همچنين مشخص شد كه در نمونه¬هاي پس از بازپخت با كاهش زبري سطح، ميزان عبور نور مرئي و همچنين انرژي گاف اپتيكي كاهش يافته است.

192899

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر مهدي افشار

فيزيك - حالت جامد

دكتر محمدرضا زماني ميميان