طراحي و بهينه سازي تفنگ الكتروني جهت كاربرد در ميكروسكوپ الكتروني

كارشناسي ارشد

اغلب آزمايشگاهها مواد و اتاقهاي تميز ساخت افزارهاي نانو، از ميكروسكوپ الكتروني براي تصويربرداري با قدرت تفكيك بالا به منظور تحليل كيفيت و ساختار سطحي اجسام استفاده ميكنند. ميكروسكوپها الكتروني ابزاري كاملاً ضروري براي تحقيقات نوين در دنياي نانو است. در اين پايان نامه اجزاي تشكيل دهنده ميكروسكوپ الكتروني و سيستم ليتوگرافي 8 باريكه الكتروني مورد بررسي قرار گرفته است، طراحي و ساخت تفنگ الكتروني كه داراي كمترين قطر ممكن و كم هزينهترين لنزهاي متمركز كننده الكتروني كه مناسب براي ميكروسكوپ الكتروني و ليتوگرافي الكتروني باشد، هدف اين پاياننامه است. در اين پايان نام سعي به كاهش حداكثري ضريب ابيراهي كروي شده و افزايش روشنايي پرتو الكترون است. براي قرار گيري ستون الكتروني در خلأ يك محفظه خلأ استيل طراحي و ساخته شده و به وسيله پمپ ديفيوژن خلأ بالا ايجاد شده است. به وسيله شمعهاي خودرو فيدتروهاي خلأ ولتاژ بالا ساخته شده است. فشار خلأ نهايي كه در اين محفظه اندازه گيري شد، برابر با 5-^10 تور است و اين مقدار خلأ براي منبع الكترون گرمايوني بسيار عالي است. جنس ستون الكترون شامل مس براي لنز الكترواستاتيك است و برنز براي نگهدارنده، آند و گيره لنز الكترواستاتيك به كار گرفته شده است و آلومينا (سراميك) براي عايق الكتريكي است.

194736

دانشگاه علم و صنعت ايران

الكترونيك

دكتر ياوند